MEMS传感器是MEMS本领的一个行使，它们是诈骗微电子和微刻板加工本领造作出来的新型传感器。这些传感器通俗拥有体积幼、重量轻、本钱低、功耗低、牢靠性上等特质，适合批量化坐蓐，而且易于集成和达成智能化。MEMS传感器能够用于检测各类物理量，如压力、加快率、温度、湿度、光学特点等，渊博行使于汽车、医疗、消费电子、工业主动化等范畴。
行动MEMS传感器的厉重分类，MEMS惯性传感器(Micro-Electro-Mechanical Systems Inertial Sensor)是一种诈骗微纳本领造作的微型惯性传感器，厉重用于丈量物体的加快率和角速率。它渊博行使于惯性导航、运动担任、神情坚固等范畴，其厉重分类如下：
按MEMS惯性传感器的差别精度来看，低精度MEMS传感器厉重行使于消费电子范畴，中精度MEMS传感器厉重行使于汽车行业，高精度MEMS惯性传感器厉重行使于航天和国提防畴。
按照IC insight，2023年环球惯性传感器出货布局中，47.0%为加快计，8.4%为陀螺仪，44.6%为IMU。近年来，独立的MEMS陀螺仪正在高端消费电子和汽车电子商场中渐渐被IMU所取代，所以IMU占比比拟过去有所提拔。
惯性传感器相对而言本领难度较高，环球商场的供应商就特地有限且鸠集，环球前四大厂商意法半导体、InvenSense、博世和AKM吞没了70%驾御的商场份额。目前国内MEMS惯性传感器公司有星网宇达、深迪半导体(上海)、美新半导体(无锡)、矽睿科技、耐威科技、明皜传感等等，然而国内公司正在买卖周围、本领水准、产物布局方面与表洋比拟存正在明明差异，国内MEMS惯性传感器公司周围还相对较幼，单个企业较少有年贩卖额抢先1亿美金。
消费类商场仍是惯性MEMS器件最大的细分商场，然而价值压力伟大，角逐也口角常激烈，但跟着智能汽车财产的兴盛，其正在汽车范畴的行使商场将会很疾超越消费电子。按照ICWISE的数据，中国MEMS惯性传感器商场周围由2018年的45.7亿元增至2023年的85.6亿元。跟着主动驾驶急速兴盛，高精度定位导航需求牵引与当下汽车商场销量繁盛趋向下，MEMS惯性传感器(陀螺仪)刚需发作，估计中国惯性传感器商场仍以较疾的增速拉长，前瞻发端统计，2024年中国MEMS惯性传感器商场周围挨近97亿元。
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